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背压检漏法

背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，多用于封离后的电子器件、半导体器件等全密封件的无损检漏技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。
2018-04-30

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